CKD日本喜開(kāi)理半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器ETS

CKD日本喜開(kāi)理半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器ETS

一、核心定位與技術(shù)架構(gòu)

ETS 系列是 CKD 集團(tuán)面向工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域推出的高性能電動(dòng)執(zhí)行器，采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)技術(shù)，定位為中高負(fù)載、高精度、高速度的通用型直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)解決方案。與 CKD 另一款低發(fā)塵型 ECS 系列形成互補(bǔ)，ETS 更側(cè)重工業(yè)環(huán)境下的耐用性與動(dòng)力輸出，適用于半導(dǎo)體制造、汽車(chē)裝配、物流搬運(yùn)等場(chǎng)景。

二、產(chǎn)品矩陣與核心參數(shù)

1. ETS-05

負(fù)載能力：水平方向最大 10kg，垂直方向 7kg

行程范圍：50-800mm（50mm 間隔遞增）

速度：最高 500mm/s（導(dǎo)程 2mm 時(shí)），支持 250mm/s（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm（C7 級(jí)滾珠絲杠）

本體尺寸：寬度 51mm，高度 45mm

適用馬達(dá)：100W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

2. ETS-06

負(fù)載能力：水平方向 30kg（導(dǎo)程 2mm 時(shí)）或 10kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)），垂直方向 15kg（導(dǎo)程 2mm 時(shí)）或 5kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

行程范圍：50-800mm

速度：最高 500mm/s（導(dǎo)程 2mm 時(shí)），支持 250mm/s（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 65mm，高度 56mm

適用馬達(dá)：100W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

3. ETS-10

負(fù)載能力：水平方向 50kg（導(dǎo)程 2mm 時(shí)）或 30kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)），垂直方向 12kg（導(dǎo)程 2mm 時(shí)）或 8kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

行程范圍：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），支持 500mm/s（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 102mm，高度 66mm

適用馬達(dá)：100W 或 200W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

4. ETS-12

負(fù)載能力：水平方向 50kg（導(dǎo)程 2mm 時(shí)）或 30kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)），垂直方向 12kg（導(dǎo)程 2mm 時(shí)）或 8kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

行程范圍：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），支持 500mm/s（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 102mm，高度 66mm

適用馬達(dá)：200W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

5. ETS-13

負(fù)載能力：水平方向 70kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 47kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），垂直方向 17kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 12kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)）

行程范圍：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），支持 500mm/s（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 135mm，高度 93mm

適用馬達(dá)：200W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

6. ETS-14

負(fù)載能力：水平方向 95kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 75kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），垂直方向 27kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 18kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)）

行程范圍：50-1500mm

速度：最高 1000mm/s（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），支持 500mm/s（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 135mm，高度 93mm

適用馬達(dá)：400W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

7. ETS-17

負(fù)載能力：水平方向 120kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 110kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），垂直方向 50kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 30kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)）

行程范圍：50-1500mm

速度：最高 2000mm/s（導(dǎo)程 20mm 時(shí)），支持 1000mm/s（導(dǎo)程 10mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 170mm，高度 108mm

適用馬達(dá)：750W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

8. ETS-22

負(fù)載能力：水平方向 150kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 120kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)），垂直方向 55kg（導(dǎo)程 5mm 時(shí)）或 20kg（導(dǎo)程 10mm 時(shí)）

行程范圍：50-1500mm

速度：最高 2000mm/s（導(dǎo)程 25mm 時(shí)），支持 1250mm/s（導(dǎo)程 10mm 時(shí)）

精度：重復(fù)定位精度 ±0.02mm

本體尺寸：寬度 220mm，高度 134mm

適用馬達(dá)：750W 伺服馬達(dá)，支持多品牌兼容

參數(shù)說(shuō)明

負(fù)載與速度關(guān)系：負(fù)載能力隨導(dǎo)程增大而降低（例如 ETS-17 在導(dǎo)程 5mm 時(shí)水平負(fù)載 120kg，導(dǎo)程 20mm 時(shí)降至 35kg）。

多導(dǎo)程選項(xiàng)：部分型號(hào)（如 ETS-10、ETS-17）支持多種導(dǎo)程（2/5/10/20mm 等），可根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇。

維護(hù)設(shè)計(jì)：

外置潤(rùn)滑系統(tǒng)：無(wú)需拆解本體即可直接潤(rùn)滑導(dǎo)軌與滾珠絲杠，維護(hù)工時(shí)減少 50% 以上。

可視化維護(hù)：可選配潤(rùn)滑脂更換指示器，實(shí)時(shí)監(jiān)控維護(hù)周期。

環(huán)境適應(yīng)性：

防護(hù)等級(jí)：IP54 標(biāo)準(zhǔn)防護(hù)，可抵御粉塵與液體飛濺。

溫度范圍：-10℃至 + 60℃，適配惡劣工業(yè)環(huán)境。

選型建議

高負(fù)載場(chǎng)景：優(yōu)先選擇 ETS-17 或 ETS-22，其水平負(fù)載能力達(dá) 150kg，適合汽車(chē)裝配、物流搬運(yùn)等重負(fù)載作業(yè)。

高精度需求：所有型號(hào)均支持 ±0.02mm 重復(fù)定位精度，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體封裝、精密焊接等場(chǎng)景。

多品牌兼容性：ETS 系列支持 13 家主流伺服馬達(dá)品牌（如三菱、安川、臺(tái)達(dá)），客戶(hù)可自由搭配驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。

模塊化設(shè)計(jì)

架構(gòu)：支持 13 家主流伺服馬達(dá)品牌（如三菱、安川、臺(tái)達(dá)），客戶(hù)可自由搭配驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，兼容 EtherCAT、PROFINET 等工業(yè)總線(xiàn)。

多軸聯(lián)動(dòng)能力：ETS Multi Axis 系列支持直線(xiàn) / 圓弧插補(bǔ)，可構(gòu)建高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

三、技術(shù)優(yōu)勢(shì)與創(chuàng)新設(shè)計(jì)

維護(hù)友好性

外置潤(rùn)滑系統(tǒng)：通過(guò)獨(dú)立注油口直接潤(rùn)滑導(dǎo)軌與滾珠絲杠，無(wú)需拆解本體，維護(hù)工時(shí)減少 50% 以上。

可視化維護(hù)：可選配潤(rùn)滑脂更換指示器，實(shí)時(shí)監(jiān)控維護(hù)周期。

環(huán)境適應(yīng)性

寬溫域運(yùn)行：工作溫度范圍 - 10℃至 + 60℃，適惡劣工業(yè)環(huán)境。

防護(hù)等級(jí)：IP54 標(biāo)準(zhǔn)防護(hù)，可抵御粉塵與液體飛濺，適合車(chē)間開(kāi)放式布局。

成本優(yōu)化

輕量化設(shè)計(jì)：鋁合金與鐵合金混合結(jié)構(gòu)，在保證剛性的同時(shí)降低整機(jī)重量，減少安裝支架成本。

能耗控制：伺服馬達(dá)按需匹配功率，比傳統(tǒng)氣動(dòng)系統(tǒng)節(jié)能 30% 以上。

四、行業(yè)應(yīng)用與典型案例

半導(dǎo)體制造

晶圓搬運(yùn)：ETS-14-P4 型號(hào)在某存儲(chǔ)芯片工廠(chǎng)中，以 1000mm/s 速度實(shí)現(xiàn)晶圓盒的高精度上下料，年故障率低于 0.1%。

封裝測(cè)試：多軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)用于引線(xiàn)鍵合設(shè)備，定位精度達(dá) ±0.015mm，支持 24 小時(shí)連續(xù)作業(yè)。

汽車(chē)裝配

動(dòng)力總成安裝：ETS-22 在某新能源汽車(chē)工廠(chǎng)中，以 2000mm/s 速度完成電機(jī)與變速箱的自動(dòng)化裝配，節(jié)拍時(shí)間縮短至 12 秒 / 臺(tái)。

焊接機(jī)器人：與協(xié)作機(jī)器人集成，用于車(chē)身點(diǎn)焊，軌跡重復(fù)精度達(dá) ±0.02mm，提升焊接一致性。

物流倉(cāng)儲(chǔ)

AGV 頂升機(jī)構(gòu)：ETS-17-P4 搭載于某電商倉(cāng)庫(kù)的 AGV 上，實(shí)現(xiàn)貨架的快速升降，單次作業(yè)時(shí)間較傳統(tǒng)液壓系統(tǒng)縮短 40%。

分揀系統(tǒng)：多軸聯(lián)動(dòng)平臺(tái)用于高速分揀機(jī)，支持 60 件 / 分鐘的分揀效率，準(zhǔn)確率達(dá) 99.99%。

五、認(rèn)證體系與合規(guī)性

國(guó)際認(rèn)證

CE 認(rèn)證：符合歐盟機(jī)械指令（2006/42/EC）與低電壓指令（2014/35/EU），可無(wú)障礙進(jìn)入歐洲市場(chǎng)。

ATEX 認(rèn)證：部分型號(hào)通過(guò)防爆認(rèn)證，適用于化工、油氣等高風(fēng)險(xiǎn)環(huán)境。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

食品級(jí)合規(guī)：FP 系列（ETS 衍生型號(hào)）采用 NSF H1 食品級(jí)潤(rùn)滑脂，通過(guò) FSSC22000 認(rèn)證，可用于乳制品、烘焙等生產(chǎn)線(xiàn)。

半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：P4 系列滿(mǎn)足 SEMI S2-0716 安全規(guī)范，適用于無(wú)塵室環(huán)境。